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Überblicksinformationen von Herrn Schwarz
(Fachlehrer Physik der Lise-Meitner-Schule) |
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Entwurf einer Maske (Layoutentwicklung) |
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Vorbereitung der Glasträger - Reinigen im Ultraschallbad |
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Bedampfen der Glasträger (Aufdampfen einer 100 Nanometer dünnen Aluminiumschicht)
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Bedampfungsanlage (Erläuterungen von Dr. Weixelbaum, Wissenschaftler am Ferdinand-Braun-Institut - hier bei der Lehrerfortbildung) |
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Befüllen des Wolframschiffchens mit Aluminium |
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Einlegen der Glasträger |
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Erhitzen des Wolframschiffchens bis zur Weißglut (Aluminium verdampft und kondensiert an kalten Flächen, u.a. auf den Glasträgern) |
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Eine dünne Aluminiumschicht bildet sich auf dem Glasträger |
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Strukturierung der Aluminiumschicht
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Belacken (Aufbringen eines Fotolacks) |
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Trocknen (auf einer Hotplate) |
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Belichten des Fotolacks (Übertragen des Layouts) |
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Belichtung (mit UV-Licht) |
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Entwicklung (Belichtete Lackbereiche werden entfernt.) |
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Ätzen (Durch Lack bedecktes Aluminium bleibt stehen. Die freien Stellen werden im Säurebad weggeätzt, dadurch entsteht die gewünschte Struktur auf dem Glasträger) |
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Qualitätskontrolle mit dem Mikroskop |
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Vermessen der erzeugten Strukturen
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Messplatz |
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Messtisch |
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Ergebnis |
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Das nehmt ihr mit nach Hause (Glasträger + Layout) |
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